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1、
2、
当Si3N4层厚小于0.7nm时，因TiN晶体的模板效应，原为非晶态的Si3N4晶化，并反过来促进TiN的晶体生长，从而使多层膜呈现TiN层和Si3N4层择优取向的共格外延生长。
互联网摘选
3、
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